تجهيزاتي كه با اندازه گيري اشعه ايكس حاصل از برخورد الكترون پر انرژي با نمونه عناصر نمونه را شناسايي كرده و اندازه گيري ميكنند .
The equipments that analyses the sample by the measurement of x-ray emitted by the sample receiving the energy of high-energy electrons.
